Anji Technology, entegre devre süper proses teknolojisi atölyesine katıldı
Entegre Devre Süper Proses Teknolojisi Çalıştayı

Anji Technology, entegre devre süper proses teknolojisi atölyesine katıldı
-Gelişmiş aşındırma sonrası temizleme teknolojisinde neler oluyor?
SHANGHAI, 22 Kasım 2021 /PRNewswire/ -- Entegre Devre Malzemeleri Endüstrisi Teknoloji İnovasyon İttifakı ve Cobaxter tarafından ortaklaşa düzenlenen 2021 Entegre Devre Ultra Temiz Proses Teknolojisi Çalıştayı, 19 Kasım'da Hangzhou, Xiaoshan Bölgesinde başarıyla gerçekleştirildi. Toplantı aynı anda çevrimiçi ve çevrimdışı şeklinde gerçekleşti.Endüstriyel zincirdeki entegre devre üretimi, silikon malzemeleri, proses kimyasalları, fotorezist gibi yukarı ve aşağı işletmelerden üst düzey yönetim, teknisyenler ve akademisyenlerden yaklaşık 80 kişi vardı. CMP malzemeleri vb. Yeni teknoloji gereksinimleri altında temizlik kontrolünü tartışmak için bu toplantıya katıldı.

Çalıştay sırasında, Anji Microelectronics Technology (Shanghai) Co., Ltd.'nin ("Anji Technology") ürün uygulama müdür yardımcısı Wang Shengli, "Gelişmiş Süreçlerde Aşındırma Sonrası Temizleme Teknolojisi" başlıklı bir konuşma yapmak üzere davet edildi. Wang Shengli konuşmasında, temel olarak, ileri teknoloji mantık cihazları düğümlerinde kuru sonrası aşındırma kalıntılarının temizleme işlemi teknolojisini, özellikle de titanyum nitrür sert maskelerin ıslak olarak çıkarılması için gereken temizleme teknik göstergelerini ve gerçek verileri paylaştı. Shengli Wang, yeni nesil yarı iletken proses teknolojisi beklentisiyle, fonksiyonel kimyasallar için yarı iletken proseslerinde yeni malzemeler ve yeni mimarilerin sunduğu zorlukları ve fırsatları tartıştı. Mantık cihazlarının sonraki nesillerinde GAA yapısının ortaya çıkması, Ru ve Air Gap'in tanıtılması; 3D NAND cihazlarında, daha yüksek katmanların istiflenmesi ve Molly'nin tanıtılmasının getirdiği son derece yüksek en boy oranı ve D1Z neslinde DRAM, Düşük K malzemelerinin ve yeni kapasitör malzemelerinin piyasaya sürülmesi, birçok yeni ve zorlu fonksiyonel kimyasal fırsat getirdi ve Anji Technology'nin bu yeni uygulamalar için anlayışını ve Ar-Ge düzenini gösterdi.
1
Wang Shengli, Anji Technology'nin fonksiyonel ıslak elektronik kimyasallarının, son on yılda yurtiçinde ve yurtdışında farklı müşterilere istikrarlı bir şekilde büyük miktarlarda tedarik edildiğini söyledi. Anji Technology her zaman CMP polisaj sıvılarının ve fonksiyonel ıslak elektronik kimyasalların Ar-Ge ve sanayileşmesine odaklanmıştır.17 yıllık birikim ve yağıştan sonra Anji Technology, olgun ve güçlü Ar-Ge, üretim, teknik destek ve kalite kontrol yeteneklerine sahiptir.

Fonksiyonel ıslak elektronik kimyasallarda endüstri liderlerinden biri olan Anji Technology, hem yerli olgun süreçlere hem de uluslararası yarı iletkenlerin en gelişmiş süreç teknolojilerine odaklanıyor ve yerli ve yabancı yarı iletken şirketlerini olgun teknolojiler için tatmin etmek için ilgili fonksiyonel kimyasal teknolojileri araştırıyor ve geliştiriyor. Seri üretimin ve ileri süreç geliştirmenin farklı ihtiyaçlarını karşılamak için, entegre devre endüstrisi için güçlü bir tedarik garantisi sağlamak üzere müşteriler ve ortaklarla daha iyi işbirliği arayışındayız.