Technologies

News information

Компания «Анжи Технолоджи» приняла участие в семинаре по супертехнологии интегральных схем

Выпуск на : 12 янв. 2022 г.

Компания «Анжи Технолоджи» приняла участие в семинаре по супертехнологии интегральных схем
Семинар по технологиям суперпроцессов интегральных схем

Компания «Анжи Технолоджи» приняла участие в семинаре по супертехнологии интегральных схем
-Что происходит с передовой технологией очистки после травления?
ШАНХАЙ (SHANGHAI), 22 ноября 2021 г. /PRNewswire/ -- 19 ноября в районе Сяошань города Ханчжоу был успешно проведен семинар по технологиям сверхчистых процессов на интегральных схемах 2021 года, организованный совместно Альянсом инноваций в области технологий производства материалов для интегральных схем и компанией Cobaxter. Встреча проходила одновременно в режиме онлайн и оффлайн.На ней присутствовало около 80 человек из высшего руководства, технических специалистов и ученых из предприятий, занимающихся добычей и переработкой, в производственной цепочке, таких как производство интегральных схем, кремниевые материалы, технологические химикаты, фоторезисты, материалы CMP и др. Участвовал в этой встрече, чтобы обсудить контроль чистоты в соответствии с новыми технологическими требованиями.

Во время семинара Ван Шэнли, заместитель директора по применению продукции Anji Microelectronics Technology (Shanghai) Co., Ltd. («Anji Technology»), был приглашен выступить с речью на тему «Технология очистки после травления в передовых процессах». В своем выступлении Ван Шэнли в основном поделился технологией процесса очистки от остатков постсухого травления в передовых технологических узлах логических устройств, особенно техническими показателями очистки и фактическими данными, необходимыми для влажного удаления твердых масок из нитрида титана. Что касается технологии производства полупроводников следующего поколения, Шэнли Ван обсудил проблемы и возможности, связанные с новыми материалами и новой архитектурой в полупроводниковых процессах для функциональных химикатов. Появление структуры GAA в более поздних поколениях логических устройств, введение Ru и Air Gap; в устройствах 3D NAND чрезвычайно высокое соотношение сторон, вызванное наложением более высоких слоев и введением Molly, а также в поколении D1Z DRAM. Внедрение материалов с низким содержанием калия и новых материалов для конденсаторов открыло много новых и сложных функциональных химических возможностей и продемонстрировало понимание Anji Technology и план исследований и разработок для этих новых приложений.
1
Ван Шэнли сказал, что функциональные жидкие электронные химикаты Anji Technology стабильно поставляются различным клиентам в стране и за рубежом в больших количествах в течение последних десяти лет. Anji Technology всегда была сосредоточена на исследованиях и разработках и индустриализации полировальных жидкостей CMP и функциональных влажных электронных химикатов.После 17 лет накопления и осаждения Anji Technology имеет зрелые и сильные возможности в области исследований и разработок, производства, технической поддержки и контроля качества.

Являясь одним из лидеров отрасли в области функциональных мокрых электронных химикатов, Anji Technology сосредоточила внимание как на отечественных зрелых процессах, так и на самых передовых технологических процессах международных полупроводников, а также исследует и разрабатывает соответствующие функциональные химические технологии, чтобы удовлетворить потребности отечественных и зарубежных полупроводниковых компаний в зрелых технологиях. , Чтобы удовлетворить различные потребности массового производства и разработки передовых процессов, мы стремимся к более тесному сотрудничеству с клиентами и партнерами, чтобы обеспечить надежную гарантию поставок для отрасли интегральных схем.